CemeCon 코팅 기술 코팅 장비 HiPIMS 스퍼터링 코팅 시스템

HiPIMS 스퍼터링 코팅 시스템

CC800®/9 HiPIMS 시스템의 성능 데이터
코팅 영역, Ø x h [mm] Ø400 x 400
기질 테이블 Ø x 위성부(Satellites) 개수 [mm], 수 Ø400 x Ø130 x 6
빠른 교체 테이블 옵션형
음극 스퍼터 품목, [mm] 6 x 500
최대 기질 치수, Ø x h [mm] Ø400 x 800
드릴 용량, Ø6 mm x 60 mm 품목 1,800
삽입 용량, 12,7 mm x 3,5 mm 품목 4,920
최대 기질 무게 [kg] 250
3 μm HPN1에 대한 10 mm 밀링 커터의 사이클 타임 [h] 4,5
공정 부스터 기술을 갖춘 HiPIMS 및 스퍼터링. 확립된 CemeCon의 모든 코팅을 사용할 수 있습니다.
기질 전처리(플라즈마 에칭) 부스터, MF 및 HiPIMS 에칭
전기 전도성 코팅
전기 비전도성 코팅
전기 비전도성 기질
정격 출력 [kW] 80
3μm HPN1에 대한 10 mm
밀링 커터의 배치 당 전력 소비
[kWh] 120
외부 치수 (w x l x h) [mm3] 1,450 x 3,350 x 2,200
무게(비어 있음) [kg] ~ 3,200

CC800®/9 HiPIMS

CC800®/9 HiPIMS 장비는 스테인레스, 티타늄 또는 니켈합금같은 재료를 가공하기 위하여 공구를 매우 단단하고 내산화성 코팅으로 코팅 합니다. 이러한 난삭재료에는 적용되는 코팅에는 세메콘의 특허 기술인 HiPiMS 기술이 내장되어 있습니다.

거의 100%에 가까운 금속 이온화는 우수한 밀착력을 제공합니다. 스크래치 테스트에서 130뉴톤 이상의 경도를 나타내며 더우기 HiPiMS 기술은 복잡한3차원 형상에도 매우 균질한 코팅 분포를 보이며 시간당 2.5 μm 의 고속 증착속도 덕분에 매우 짧은 프로세스 타임이 가능 합니다. 6개의 개별적으로 조작가능한 스퍼터 캐소드는 뛰어난 유연성을 보증합니다.

CC800®/9 HiPiMS 는 대용량 코팅에 적합하며 모든 스퍼터링 코팅이 가능합니다. CC800®/9 HiPiMS로 코팅된 모든 코팅공구는 droplet이 없는 매끄러운 표면을 나타냅니다.


우수한 성능

  • 빠른 증착속도
  • 우수한 밀착력
  • 우수한 코팅 균질성
  • 연구개발에서 대용량 생산까지 가능
  • 우수한 절삭성능
  • 4x10 kW까지의 평균 HiPiMS 캐소드 파워



코팅 용적





 

절단면의 균일한 코팅 두께 분포