CemeCon 코팅 기술 코팅 장비 DC 스퍼터링 코팅 시스템

DC 스퍼터링 코팅 시스템

성능 데이터 CC800®/9 ML 6 (10) CC800®/9 XL
코팅 영역, Ø x h [mm] Ø400 x 400
(Ø650 x 400)
Ø650 x 700
기질 테이블 Ø x 위성부(Satellites) 개수 [mm], 수 Ø400 x Ø130 x 6
(Ø650 x Ø130x10)
Ø650x Ø130 x 10
빠른 교체 테이블 기계식 또는 전기 유압식 전기 유압식
음극 스퍼터 품목, [mm] 4 x 500 4 x 800
최대 기질 치수 Ø x h [mm] Ø400 x 800
(Ø650 x 800)
Ø650 x 800
드릴 용량 , Ø6 mm x 60 mm 품목 1,800 (3,000) 4,500
삽입 용량 , 12,7 mm x 3,5 mm 품목 4,920 (8,200) 16,400
최대 기질 무게 [kg] 250 (500) 500
3 μm HYPERLOX®
10 mm 밀링 커터의 사이클 타임
[h] 5 6
공정 부스터 기술을
갖춘 스퍼터링
부스터 기술을
갖춘 스퍼터링
기질 전처리 (플라즈마 에칭) 부스터 및 MF 에칭 부스터 및 MF 에칭
전기 전도성 코팅
전기 비전도성 코팅 아니오 아니오
전기 비전도성 기질 아니오 아니오
정격 출력 [kW] 60 80
3μm Hyperlox® 에 대한 10 mm
밀링 커터의 배치 당 전력 소비
[kWh] 120 120
외부 치수 (w x l x h) [mm3] 1,050 x 3,350 x 2,200 1,050 x 3,350 x 2,200
무게 (비어 있음) [kg] 3,000 – 3,300 ~ 3.300

CC800®/9 ML 과 CC800®/9 XL

DC 스퍼터링 기술의 세메콘 코팅시스템은 다방면에서 사용되고 있습니다. DC 스퍼터링 코팅 시스템은 전 세계에서 수 많은 공구 코팅의 중심이였습니다. 필요한 용량에따라 ML과 XL 버전이 있으며 두 장비 모두 모든 질화물, 붕소화물 및 탄소를 기반으로한 재료에 신속하고 쉽게 사용할 수 있습니다. 모듈 추가는 향후 개별적인 교정이 가능 합니다.

CC800®/9 ML 은 중간 사이즈 용량과 빈번한 배치와 코팅 레서피 변경에 적합한 경제적인 시스템입니다. 최적의 플렉스 모듈로 향후 용량 확대가 가능하며 현재 주문 물량에 신속히 대응할 수 있다.

높은 유연성으로 CC800®/9 ML 장비는 연구개발에 적합함이 입증 되었습니다. 모듈식의 디자인은 측정장비와 같은 확장과 옵션이 장착되게 할 수 있으며 필요 시 HiPiMS 또는 펄스모듈의 장착이 가능합니다.

세메콘은 대용량 또는 거대부품에 적합한 CC800®/9 XL을 개발하였습니다. 이는 ML 모델과 같은 크기의 사이즈로 대용량의 코팅 볼륨을 가지고 있습니다. 드릴 4,500개 또는 인서트 16,400개 그리고 길이800mm 와 직경650mm의 공구를 한번에 코팅 할 수 있습니다. 전기유압식의 빠른 테이블 교체로 툴배치의 신속한 장입 및 탈장입이 가능합니다.





코팅 용적








 

12.5 μm의 코팅 두께를 갖춘 ALOX® SN2 코팅